UVTM135G-0,9 – позитивный высокотемпературный фоторезист, оптимизирован для обеспечения изображения вертикального профиля изолированных и полуплотных элементов в соответствии с правилами проектирования производства устройств от 180 до 390 нм. UVTM135G хорошо работает на отражающих поверхностях.
ПРЕИМУЩЕСТВА:
Минимальная чувствительность к изменению температуры
Совместимость с проявителями MF-20A (0.26N) и MF-CD-26
Отличные технологические возможности и надежный технологический процесс
Высокое разрешение
Превосходная стойкость к травлению
Толщина: 0,9 мкм Проявители: MF-20A (0.26N), MF-CD-26 Средства удаления: Microposit remover 1165 Длина волны экспонирования: 180 – 390 нм Области применения: Высокотемпературный позитивный фоторезист для обеспечения изображения вертикального профиля изолированных и полу/плотных элементов