Фоторезисты серии SU-8 3000 - это высококонтрастные фоторезисты на основе эпоксидной смолы, разработанные для микроэлектронных применений, где требуется толстое, химически и термически стабильное изображение. SU-8 3000 — это улучшенный состав SU-8 и SU-8 2000, он широко используется производителями MEMS. Диапазон вязкости SU-8 3000 позволяет получать пленки толщиной от 4 до 120 мкм за один слой. SU-8 3000 способен создавать высокие структуры с соотношением сторон 5:1. SU-8 3000 обладает очень высокой свето-пропускной способностью, превышающей 360 нм, что делает его подходящим для получения изображений вертикальных боковых стенок в очень толстых пленках. SU-8 3000 лучше всего подходит для постоянного применения, когда его экспонируют, отверждают и оставляют на устройстве.
Изображение с высоким соотношением сторон при почти вертикальных
боковых стенках;
Улучшенная адгезия;
Толщина пленки > 100 мкм при нанесении однослойного покрытия;
Превосходная химическая и температурная стойкость;
Отличная стойкость к сухому травлению.
Толщина - 4,0-120 мкм Проявители - SU-8 developer. Средства удаления - Remover PG Длина волны экспонирования - i,h,g линии
Области применения - Для получения изображений вертикальных боковых стенок в очень толстых пленках. Для микроэлектронных применений, где требуется толстое, химически и термически стабильное изображение.